Isıtma ve Güç Sistemi Hata Kodları
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Olası Nedenler
Çözüm
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG Hata Kodları
27 kayıt
Proses ve Metalurji Hata Kodları
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Olası Nedenler
Çözüm
Soğutma ve Proses Gaz Hata Kodları
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Olası Nedenler
Çözüm
VF-001
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Ana Vakum Pompa Arızası
Olası Nedenler
- Kuru vidalı veya döner kanatlı pompa çalışmıyor
Çözüm
- Pompa motorunu ve kumanda devresi sigortalarını kontrol edin, pompa yağını denetleyin
VF-002
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Ön Vakum Yetersiz
Olası Nedenler
- Yüksek vakum pompası devreye giremeden ön vakum basıncı yüksek
Çözüm
- Ön vakum pompasının kapasitesini ve gaz yükünü kontrol edin
VF-003
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Yüksek Vakum Basınç Aşımı
Olası Nedenler
- Proses sırasında fırın basıncı setpoint'in üzerine çıktı
Çözüm
- Gaz outgassing kaynağını araştırın, şarj temizliğini ve yükleme koşullarını gözden geçirin
VF-004
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Kaçak Testi Başarısız
Olası Nedenler
- Fırın sızıntı hızı 5×10⁻⁴ mbar·L/s limitini aştı
Çözüm
- Helyum sızıntı dedektörü ile kapı contaları, flanşlar ve geçirmeler test edin
VF-005
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Difüzyon Pompası Aşırı Yük
Olası Nedenler
- Difüzyon pompası soğutma yetersiz, aşırı ısı algılandı
Çözüm
- Soğutma suyu debisini ve sıcaklığını kontrol edin, pompa ısı kalkanını denetleyin
VF-006
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Gaz Vanası Arızası
Olası Nedenler
- Gaz giriş veya çıkış vanası komutu yanıtsız
Çözüm
- Vana aktüatörünü, sinyal devrelerini ve mekanik konumu kontrol edin
VF-011
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Grafit Isıtıcı Arızası
Olası Nedenler
- Grafit ısıtma elemanı direnci nominal değerden önemli ölçüde sapıyor
Çözüm
- Isıtıcı direncini soğukta ölçün, kırık veya aşınmış bölgeyi tespit edip değiştirin
VF-012
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Mo Isıtıcı Arızası
Olası Nedenler
- Molibden ısıtma elemanı devre kesici tarafından korundu
Çözüm
- Elemanın toprak kaçağını ölçün, kısa devre nedeni araştırılıp eleman değiştirilmeli
VF-013
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Güç Transformatör Alarmı
Olası Nedenler
- Isıtma gücü trafosu sıcaklık alarmı verdi
Çözüm
- Trafo soğutmasını kontrol edin, yük profilini gözden geçirin
VF-014
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
SCR Kontrol Hatası
Olası Nedenler
- Silikon kontrollü doğrultucu (SCR) hata durumuna geçti
Çözüm
- SCR soğutmasını ve tetikleme devresini kontrol edin, gerekirse SCR modülünü değiştirin
VF-015
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Sıcaklık Üniformite Hatası
Olası Nedenler
- Çalışma sıcaklığında fırın içi üniformite ±5°C limitini aşıyor
Çözüm
- Sıcaklık dağılım testini (temperature survey) yapın, perde bileşenlerini denetleyin
VF-021
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Yüksek Basınç Gaz Soğutma
Olası Nedenler
- Gaz soğutma basıncı maksimum tasarım basıncını aşıyor
Çözüm
- Gaz besleme basıncını düşürün, güvenlik tahliye valfini kontrol edin
VF-022
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Gaz Soğutma Fan Alarmı
Olası Nedenler
- Dahili sirkülasyon fanı motor sürücüsü alarm durumuna geçti
Çözüm
- Fan motoru ve sürücüsünü kontrol edin, fan kanatlarını ve rulmanları denetleyin
VF-023
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Soğutma Suyu Debi Düşük
Olası Nedenler
- Fırın soğutma ceketine su debisi düştü
Çözüm
- Su pompasını ve boru hattını kontrol edin, tıkanıklık veya kireçlenme araştırın
VF-024
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Argon/Azot Saflık Alarmı
Olası Nedenler
- Proses gazı saflık sensörü kabul sınırının altında saflık okudu
Çözüm
- Gaz kaynağının saflık sertifikasını kontrol edin, boru hattı sızıntısını denetleyin
VF-025
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Ön Gaz Temizleme Hatası
Olası Nedenler
- Fırın yükleme sonrası atmosfer temizleme döngüsü tamamlanamadı
Çözüm
- Gaz besleme debisini ve boşaltma valfini kontrol edin, döngü süresini artırın
VF-031
ALD VACUUM TECHNOLOGİES VKPG
Vakum Sistemi Hata Kodları
Karbon Aktivitesi Sapması
Olası Nedenler
- Düşük basınçlı karbürleme (LPC) karbon aktivitesi profili sapıyor
Çözüm
- Asetilen/propan gaz darbesi miktarını ve zamanlamasını optimize edin